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CMPリテーナーリング用素材 <クレハPPSチューブ>
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CMPリテーナーリング用素材 <クレハPPSチューブ>
弊社では、CMP装置のリテナーリング用材料に耐摩耗性に優れたPPSチューブを提供しています。
<クレハPPSチューブ>は、絶縁膜系、メタル配線系など、どのCMPプロセスにおいても優れた耐摩耗性を発揮し、リテナーリングの長寿命化を図り、ランニングコストを低減します。
CMPリテーナーリング用素材 <KUREHA KPS TM>PPS TUBE
  • 株式会社クレハ製品 (リンク: http://www.kureha.co.jp/kinou/kps/kps.html
  • クレハグループ内にてPPS原料からPPSチューブまで一貫生産
  • 絶縁膜系、メタル配線系など各種CMPプロセスにおいて優れた耐摩耗性を発揮
  • リテナーリングの長寿命化によるランニングコストの低減
  • 優れた機械物性、耐摩耗性、耐薬品性、耐熱性、低溶出性、寸法安定性
  • 低スクラッチ、被研磨面均一性、耐ウエハーエッジ打撃侵食性
  • 世界のCMP装置メーカー及び半導体メーカーでの認証使用実績
規格サイズ
  • 8インチリテナーリング用 : 外径φ250mm×内径φ200mm×L1000mm
  • 12インチリテナーリング用 : 外径φ360mm×内径φ290mm×L500mm
※チューブ長さはご希望のサイズにカット可能です
三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
TEL:03-3983-0902  FAX:03-3981-9093
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