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クライオポンプ消耗部品
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クライオポンプ消耗部品
弊社では、高品質、格安にて台湾製クライオポンプ消耗部品(パーツ)を提供しています。
新品の販売のみならず、消耗部品の修理・メンテナンス・オーバーホール・再生・リサイクルも承っております。
各メーカー仕様にて各種ポンプ部品の設計・製作が可能です。
  • 80Kアレイ(アレー/パネル/バッフル)
  • 15Kアレイ/トップ(アレー/パネル)
  • 15K/80Kアレイ再生・リサイクル
  • モーターリペアキット
  • シールキット
  • アドソーバー
  • ディスプレーサー
  • シリンダー/ヒーター修理
  • オンボードモジュール修理
CTI M350 Motor Repair kit
ダイキン V204/208 Seal Kit
M350 1st Displacer Seal
ダイキン Cryotec 12 15K Array
CT/OB-8 15K Array
CT-250F 15K Array
CT/OB-400 15K Array
OB-IS 8F 15K Array
CT-8 15K Top
CT/OB-8/8F 80K Array
M350 1st Displacer
CTI 9600 Adsorber
<対応メーカー/型式>
CTI CT-4F, CT-8, CT-8F, CT-10, CT-10F, CT-250F, CT-100, CT-400, OB-4F, OB-8, OB-8F,
OB-8FE, OB-10, OB-10F, OB-IS-8F, OB-250F, OB-IS-250F, OB-IS-320F, OB-400
M350, M1020, M1050 モーターリペアキット
M350, M1020, M1050 1st/2nd ディスプレーサー
9600 アドソーバー (8200/9600/9700 コンプレッサー用)
ダイキン(DAIKIN) Cryotec 10, Cryotec 12 / V204, V208 シールキット
アルバック(ULVAC) U6, U8, U10, U12, U16, U20, U22, U30 / R10, R20, R50 モーターリペアキット
C30 アドソーバー (UC10/UC15/UC30コンプレッサー用)
キヤノンアネルバ
(CANON ANELVA)
CAP80, CAP120, CAP160, P-080, P-081, P-082, P-085, P-086, P-07, P-101, P-106,
P-121, P-122, P-126, P-127, P-128, P-161, P-166, P-201, P-206, P-266
鈴木商館(SUZUKI) GA08, GA12, SH42
その他 へリックス(HELIX), アイシン精機(AISIN)等
主要用途
・スパッタリング装置
・イオン注入装置
・真空蒸着装置
・エッチング装置
・CVD装置
・加速器
・核融合装置
・電子顕微鏡
・スペースチャンバー
・表面分析装置
・イオンビーム測定装置
・分子線エピタキシャル装置
三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
TEL:03-3983-0902  FAX:03-3981-9093
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