三洋マテリアル株式会社

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半導体製造装置、FPD製造装置、光学レンズ製造装置などで使用されるクライオポンプの消耗部品（交換パーツ）を高品質、格安にて提供しております。新品の販売のみならず、部品の修理や再生、設計・開発（カスタムメイド）も可能です。またクライオポンプ、コンプレッサー、ヒーター、コントローラー等の修理・メンテナンス・オーバーホールも承っております。純正メーカー品からの切替により大幅なコストダウンを実現します。

主要製品

モーターリペアキット
シールキット
15Kアレイ
80Kアレイ
15Kトップ
ディスプレーサー
アドソーバー
OB-8FEアップグレードキット

インジウムシート
スコッチヨーク
リリーフバルブ
タイミングバルブ
ディスプレーサーピン
シリコンダイオードセンサー
ヘリウムライン
15K/80Kアレイ再生

ディスプレーサー再生
ラディエーションシールド再生
アドソーバー再生/リサイクル
オンボードモジュール修理
オンボードヒーター修理
シリンダー修理
コンプレッサー修理
コントローラー修理

CTI M350 Motor Repair kit

ダイキン V204/208 Seal Kit

M350 1st Displacer Seal

ダイキン Cryotec 12 15K Array

CT/OB-8 15K Array

CT-250F 15K Array

OB-IS 8F 15K Array

CT-8 15K Top

CT/OB-8/8F 80K Array

OB-8FE Upgrade Kit

M350 1st Displacer

CTI 9600 Adsorber

＜対応メーカー／型式＞

Brooks（ブルックス・ヘリックス・HELIX・CTI）	CT-4/4F, CT-8/8F, CT-10/10F, CT-250F, CT-100, CT-400, OB-4/4F, OB-8/8F, OB-8FE, OB-10/10F, OB-250F, OB-IS-8F, OB-IS-250F/250FE, OB-IS-320FE, OB-400, P-300 M350(2φ), M350(3φ), M1020, M1050, M600, M900, 8200, 8500, 8510, 9600, 9700
アルバック(ULVAC)	U4, U6, U8, U10, U12, U16, U20, U22, U30, U32, R10, R20, R50, R80, C10, C15, C30
ANELVA（アネルバ）	CAP-80MKII, CAP-80H/80X/80R/80L, CAP-83R, CAP-100/100L, CAP-120/120MKII, CAP-121L/121MKII, CAP-160, CAP-200, POWER-06, POWER-08, POWER-10, POWER-12 RD-204TZ, RD-204C, RD-204D
鈴木商館(SUZUKI)	A200/200F, A300, GA08, GA12, SH42
ダイキン	Cryotec-10, Cryotec-12, V204, V208

・CVD/PVD装置
・スパッタリング装置
・酸化炉/拡散炉　
・イオン注入装置（インプラ）
・エピタキシャル成長装置

・熱処理炉（RTP）
・真空プラズマ成膜装置
・ドライエッチング装置
・光学薄膜装置
・真空蒸着装置

・液晶(LCD)製造関連
・光学レンズ製造関連
・ハードディスク(HDD)製造関連
・光ファイバー製造関連
・有機EL(OLED)製造関連

三洋マテリアル株式会社
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