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- 液晶用フォトマスクケース
- 半導体用フォトマスクケース
- 石英ガラス（クオーツガラス）ケース
- 各種基板キャリアケース・トレー
- レチクルカセット（キヤノン・ニコン）
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- 帯電防止フレームカセット
- マスクブランクスケース
- 基板トレー収納ケース
- レチクルケース運搬BOX
- アウターケース
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| 取扱材料 ： |
BAREX（バレックス）・PVC・ABS・PMMA（アクリル）・PC・PET・POM・PEEK・PTFE・帯電防止材料など
半導体用対応サイズ：5・6・7・9・11インチ |
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| 6インチフォトマスクケース |
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| レチクルケース運搬BOX |
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| ガラス基板トレー |
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| レチクルカセット（Reticle Cassette） |
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| 帯電防止フレームカセット |
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| アウターケース |
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| 基板搬送ケース（複数入れ） |
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| ブランクスマスクケース |
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| 9インチフォトマスクケース |
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・ケース＆トレーの設計・図面作成
・各種ガラス基板サイズ対応
・小ロット対応（1個から製作可）
・耐摩耗性、アウトガス、電気的特性
など各用途に合わせた材料選定 |
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・ダスト・パーティクル・静電気対策
・搬送・保管に適した形状の提案
・各種ハンドリング機械に合わせた構造設計
・クリーンルーム内での組立て・洗浄
・気密性、光線透過性、耐薬品性、耐久性 |
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三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
TEL：03-3983-0902 FAX：03-3981-9093 |
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