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磁気(真空)シール
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磁気シールO/H
半導体製造装置、FPD製造装置、太陽電池製造装置などで使用される磁性流体(真空磁気)シール及び防塵シールの修理・メンテナンス・オーバーホール(O/H)を日本国内で格安にて承っております。磁気シールの真空リーク、真空破壊、真空度低下、回転不良、トルク値高い(重い)、異音等の修理が可能です。構成部品の腐蝕により、修理不可能、もしくは高額な場合は、同性能の新規製品がご選定できます。
代表的なCVD装置用、磁気シールの例
代表的なイオン注入機用、中心回転軸(スピンドル)・大型磁気シールの例
(写真右上のシール部)
お見積りの流れ
修理作業の流れ
対応メーカー・型式
  • フェローテック/Ferrotec/Ferrowfluidics (SML,SSL,SSF,SNL,SNF,STl,STF,SFL,HFL,HFV,HTL,HFF,CFL,CFF,SFV,SFH,SCV)
  • リガク/理学/Rigaku (RMS,F1B,F2B,BSB,LSB,FMB,KMB,CMB,F1T,NFT)
  • イーグル工業/EKK (ISF,IHF,ASF)
  • NOK
  • 松本油脂製薬(MVS)
用途
  • 半導体CVD/PVD装置
  • スパッタリング装置 
  • イオン注入装置(インプラ)
  • エピタキシャル成長装置
  • 酸化炉/拡散炉/LPCVD
  • 真空熱処理炉(RTP)
  • 真空プラズマ成膜装置
  • ドライエッチング装置
  • ウェハ洗浄装置/SRD
  • シリコン単結晶引き上げ炉
  • 光学薄膜装置
  • MOCVD装置
  • プラズマアッシャ
  • スピンコーター
  • 真空蒸着炉
  • アーク放電装置
  • X線発生装置
  • 真空ロボットアーム
  • 真空チャック/真空チャンバー
  • ガス導入機
  • 加圧炉
  • ハードディスク(HDD)製造関連
  • 光学レンズ製造関連
  • 光学フィルム/導電フィルム製造関連
  • 液晶(LCD)用カラーフィルタ製造関連
  • 有機EL(OLED)製造関連
  • ソーラーパネル製造関連
  • 光ファイバー製造関連
  • 水晶振動子製造関連
  • 表面処理/コーティング関連
  • 産業機械

《TEL/東京エレクトロン(ALPHA8/α8, TRIAS)、KOKUSAI/日立国際電気(KE,VERTEX)、ASM(EAGLE,POLYGON)、
AMAT/アプライドマテリアルズ(P5000,P9000/I9500,CENTURA,ENDURA,PRODUCER,QUANTUM,VIISTA)、
バリアン/VARIAN(E1000,E220/500,350D,M2000,XP,GENUS,KESTREL,VIISION)、ノベラス/NOVELLUS(C2,C3,INOVA)、
アネルバ/ANELVA、アクセリス/AXCELIS(MISCELLANEOUS,OPTIMA,PARADIGM,PURION)、AKT、アルバック/ULVAC、安川電機、
ダイヘン、大日本スクリーン製造/SCREEN、シンクロン/SHINCRON、ラムリサーチ、ビーコ/VEECO、芝浦メカトロニクス、
住友重機械イオンテクノロジー/住友イートンノバ/SEN(NV-GSD)、日新イオン機器(EXCEED)、サムコ、東横化学、光洋サーモシステム他》

三洋マテリアル株式会社
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