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磁気(真空)シール
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磁気(真空)シール
メーカ(Ferrotec、Rigaku、NOK等)を問わず、磁性流体シール(回転導入器)全般の修理・メンテナンスを、日本国内で格安にて承っております。
構成部品の腐蝕により、修理不可能、もしくは高額な場合は、同性能の新規製品がご選定できます。
代表的なCVD装置用、磁気シールの例
代表的なイオン注入機用、中心回転軸・大型磁気シールの例
(写真右上のシール部)
お見積りの流れ
修理作業の流れ
主要用途
・CVD装置
・PVDスパッタリング装置
・イオン注入装置
・エピタキシャル成長装置
・ドライエッチング装置
・アーク放電
・ガス導入機械
・X線発生装置
・真空ロボット
・単結晶引き上げ装置
・真空炉・加圧炉
・真空チャック
三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
TEL:03-3983-0902  FAX:03-3981-9093
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