English 中文
HOME 会社案内 取扱製品 お問い合わせ アクセスマップ
半導体製造装置部品
HOME > 半導体製造装置部品
半導体製造装置部品
  • シャワープレート(ヘッド)
  • フェース(フェイス)プレート
  • バッフル(バッファー)プレート
  • トッププレート
  • エレクトロード(上部電極)
  • クーリングプレート
  • GDP
  • クランプリング
  • ターゲット(ウェハ)ホルダー
  • フォーカスリング
  • リフターシャフト(リフトピン)
  • デポシールド
  • SiC真空チャック(スピンチャック)
  • ロボットアーム(ウェハ搬送ハンド)
  • SiCサセプター
  • 真空チャンバー部品
  • 研磨ステージ
  • ディフューザー
シャワープレート
エレクトロード
シャワーヘッド
バッフルプレート
GDP
ターゲットホルダー
デポシールド
SiCチャック
ウェハ搬送ハンド
ディフューザー
PPS部品
VESPEL部品
・高品質・格安にて各種半導体製造装置用消耗部品(パーツ)を提供
・台湾・中国への外注により大幅なコストダウンを実現
・全数検査の実施による信頼性の高い製品を提供
・少量多品種生産に対応、試作から量産までの一貫したサービス
・精密加工、機械加工、樹脂加工、金属加工、セラミック加工
・アルマイト(陽極)処理、溶射、ブラスト処理、バフ研磨、ラップ(ラッピング)
・VESPEL、PEEK、PPS、PTFE、PFA、PBI、PBT、POM、PC、PVC、PET、PP他
・アルミ(Al)、ステンレス(SUS)、銅(Cu)、チタン(Ti)他
・アルミナ(Al2O3)、炭化ケイ素(SiC)他
使用用途
・CVDエッチング装置(エッチャー)
・PVDスパッタリング装置
・イオン注入装置
・真空蒸着装置
・露光機(ステッパー)
・CMP研磨装置
・コータ/デベロッパー
・アッシャー
・ウェハ洗浄装置
・液晶製造装置
・LED製造装置
・有機EL製造装置
三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
TEL:03-3983-0902  FAX:03-3981-9093
Copyright © 2010 Sanyo Materials Co.Ltd. All Rights Reserved.