三洋マテリアル株式会社

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CVD、PVD、エッチング装置をはじめとする各種半導体製造装置の消耗部品を格安にて提供しております。少量多品種生産に対応し、設計・開発、試作から量産まで一貫したサービスと全数検査実施による信頼性の高い製品をご提供致します。金属（アルミ、SUS、銅、チタン他）、樹脂（PEEK、PPS、VESPEL他）、セラミックス（アルミナ、SiC他）など使用用途や環境に応じた最適な材料をご選定いただけます。

主要製品

シャワープレート（ヘッド）
フェース（フェイス）プレート
バッフル（バッファー）プレート
トッププレート
エレクトロード（上部電極）
クーリングプレート
ブロッカー（ブロック）プレート
GDP
クランプリング
RTPランプハウジング

ターゲット（ウェハ）ホルダー
フォーカスリング
リフターシャフト（リフトピン）
デポシールド
シールドリング
ホルダーリング
カバーリング
オプティマイザー
ポンピングリング
SiCチャック

スピンチャック
ロボットアーム（フォーク・ハンド）
サセプター
真空チャンバー部品
ウェハステージ
ヒーター
ディフューザー
CMPリテナーリング
洗浄ローラー
スクリュー・ノズル・ピン

シャワープレート

エレクトロード

シャワーヘッド

バッフルプレート

GDP

ターゲットホルダー

クーリングプレート

オプティマイザー

ランプハウジング

デポシールド

SiCチャック

ヒーター

ディフューザー

PPS部品

VESPEL部品

特長

・高品質・格安にて各種半導体製造装置用消耗部品（交換パーツ）を提供
・台湾・中国への外注により大幅なコストダウンを実現
・全数検査の実施による信頼性の高い製品を提供
・少量多品種生産に対応、試作から量産までの一貫したサービス
・精密加工、機械加工、樹脂加工、金属加工、セラミック加工
・アルマイト（陽極）処理、溶射、ブラスト処理、バフ研磨、ラップ（ラッピング）
・VESPEL、PEEK、PPS、PTFE、PFA、PBI、PBT、POM、PC、PVC、PET、PP他
・アルミ（Al）、ステンレス（SUS）、銅(Cu）、チタン（Ti）他
・アルミナ（Al2O3）、炭化ケイ素（SiC）他

主要用途

・半導体CVD/PVD装置
・スパッタリング装置　
・イオン注入装置（インプラ）
・酸化炉/拡散炉/LPCVD
・真空熱処理炉（RTP）
・コーター・デベロッパー・アッシャー
・真空プラズマ成膜装置
・ドライエッチング装置（エッチャー）
・CMP研磨装置
・エピタキシャル成長装置
・シリコン単結晶引き上げ炉
・ウェハ洗浄装置（ウエットステーション）
・ハードディスク(HDD)製造関連
・光学レンズ製造関連
・光学/導電フィルム製造関連
・液晶（LCD）製造関連
・有機EL(OLED)製造関連
・ソーラーパネル製造関連
・光ファイバー製造関連
・水晶振動子製造関連
《TEL/東京エレクトロン(TELIUS,UNITY,TRIAS)、KOKUSAI/日立国際電気(KE,VERTEX)、ASM(EAGLE,POLYGON)、AMAT/アプライドマテリアルズ(PRODUCER,CENTURA,ENDURA,P-5000,P9000/I9500,QUANTUM,VIISTA)、バリアン/VARIAN、ノベラス/NOVELLUS(C2,C3,CONCEPT,INOVA)、IPEC、キヤノンアネルバ/CANON ANELVA、アクセリス/AXCELIS、AKT、アルバック/ULVAC、安川電機、ダイヘン、大日本スクリーン製造/SCREEN、ストラスバー、シンクロン/SHINCRON、ラムリサーチ、日立ハイテク、サムコ他》

三洋マテリアル株式会社
〒171-0021 東京都豊島区西池袋1-5-11 イトーピア池袋ビル505
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